半導体ウェハ欠陥観察装置

半導体ウェハ欠陥観察装置

今まで裸眼では確認が困難であったシリコンウエハーの表面に生じるクラック、ディンプル・ウォーターマーク、スリップ、ソーマーク・異物 などを簡単に誰でも目視観察・評価することを可能にした、シリコンウエハーの表面観察装置を安価に提供いたします。

今まで裸眼では確認が困難であったガラス・水晶などの内部に生じる脈理などを目視観察・評価することを可能にした、ガラスの内部観察装置を安価に提供いたします。

反射から透過まで多種多様、幅広い観察をこの1台で実現しました。

シャドウグラフ法を用いることにより、マクロ観察が可能となり、簡単な構成で短時間に検出することが出来ます。

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野田撮像研究所事業所概要詳細
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岐阜県可児市