真空装置用導入機器

国立/私立大学の研究室や理化学研究所などの国立研究開発法人の研究機関で、研究用の真空成膜装置で使用する製品です。
以下のラインナップがあります。
・ベローズ式回転導入機(CF34:低トルク/高トルク,CF70)
・ベローズ式直線導入機(CF34-25/50,CF70-25/50/75/100)
・ベローズ式リニアステージ(CF70-70 移動量:25mm/50mm)
・磁気移送式トランスファロッド(CF70 ストロークmax 1,000mm)
・マグトラン式回転導入機(磁気結合式:VGフランジ)
・ベローズ式ＸＹステージ(CF70-CF70,CF70-CF114,CF114-CF114)
・オイルシール式回転導入機(VGフランジ)

シャッター駆動やワークの移送などにお使いいただけます。

全ての製品は弊社で開発、設計、製造を行っております。
製品の多くは30年以上の豊富な実績があります。