静電気対策 真空除電装置 Excimer vacuum ionizer
真空ﾁｬﾝﾊﾞｰ内の静電気を光電効果により除電する装置です。
主な用途
・静電気によるゴミや異物の吸着対策
・搬送エラー対策
・静電気放電に伴う障害対策（誤動作、損傷、ピンホールなど）
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企業情報
- 企業名
- 株式会社エキシマ（事業所概要詳細）
- 所在地
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神奈川県横浜市青葉区