フランジ類（機械加工品）
こちらは半導体製膜装置のチャンバーのフタ部分です。
内部が非常に高温になるため、冷却を目的としてシール面の裏側に水路を設けています。また、ランプヒーターを使用するため、フタの内側は鏡面仕上げと電解研磨仕上げが施されています。
当社は、機械加工+溶接+二次加工を得意としております。
また鏡面仕上げや電解研磨仕上げに優れた技術を持っています。
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企業情報
- 企業名
- （株）第五電子工業（事業所概要詳細）
- 所在地
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神奈川県相模原市緑区