ＵＶオゾン洗浄装置（紫外線オゾン洗浄装置、UVオゾンクリーナー）

製品の高精細化に適合した、ＵＶエネルギーによる精密でクリーンな乾式洗浄法です。
低圧水銀ランプより発する短波長の光エネルギー184.9nm、253.7nmはポテンシャルが高く、高精細基板製造過程で生じた有機汚染物質の結合を分解する強いエネルギーを持っています。同時に基盤表面上で紫外線ランプとエアーから生じたオゾンにより酸化反応がおこり、有機汚染物質は揮発性の二酸化炭素や水分となり飛散することで、基盤表面がクリーンになります。

○高照度、高均一紫外線照射　
　特殊形状の低圧水銀ランプを採用することで、高い照度を実現。照度均一度は±10%を確保しました。
○正確なデータ取りが可能
　ランプから試料ステージまでの照射距離を10mm刻みで設定出来、最適な照度で実験が行えます。
○安全な環境を確保
　紫外線が外部に漏れない設計です。（※本体の覗き窓は、紫外線を透過させないガラスを使用）
　扉を開けるとランプが消える安全設計。　排オゾンの分解除去器もオプションでご用意致します。

＜主な用途＞
◇高精細部品接着前処理
◇ワーク表面の有機汚染物質を高効率に分解除去
◇各種エレクトロニクス部品の歩止まり向上
◇強い光エネルギーによる表面改質
　（接着前処理により難接着材料を易接着性に改質）

＜特徴＞
◆コンパクトな箱型設計
◆高出力長寿命型低圧水銀ランプを採用
◆スピーディな処理が可能◆熱処理と違いワークへの熱弊害も軽減
◆取扱いと設置も簡単
◆紫外線安全対策機能付き