小型オゾン分解装置
紫外線照射装置やエキシマ洗浄装置、プラズマ洗浄装置の使用時に発生する
オゾンの分解装置をスタンドアローンで低価格を実現。
・本装置一台でオゾンを分解でき、排気ダクトへの接続など面倒な作業が不要。
・高濃度オゾン除去用に開発されたハニカムオゾンフィルターを採用。
・分解率を向上させた反応型触媒タイプのため、劣化が少なく、寿命の長いフィルターです。
・不燃タイプですので、安心してご使用頂けます。
・コンパクトで、設置場所に困りません。
・独自設計による高性能ハニカム触媒を使用し、短納期を実現しました。
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企業情報
- 企業名
- 株式会社あすみ技研(事業所概要詳細)
- 所在地
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東京都文京区