【スリープモード付KOACH Exp、Ezp 清浄度ISOクラス1】興研㈱代理店

【オープンクリーンシステムKOACH】
フィルタを通して清浄化したコヒーレントな気流を対向させた時、
今まで誰も想像できなかった清浄空間が生まれました。
周りを囲うことも仕切ることもないオープンクリーンゾーンの誕生です。(事例は関連ページ参照)

【フロアーコーチExp、フロアーコーチEzp】
フード前方にトンネル型のガイドスクリーンを設置
大空間のスーパークリーンルームが誕生しました

従来型の「フロアーコーチEx」「フロアーコーチEz」は全換気時間(スイッチONから全域が目標クリーン度を達成するまでの時間)が極めて短いため、作業休止時には電源をOFFにできることが特長でした(電源OFF時の内部のクリーン度は、大気環境に戻る)。しかし、作業は休止するものの、クリーンルーム内は24時間常に高クリーン度の状態に保ちたいというユーザーも非常に多く、そのため新技術(特許出願中)を投入し、「スリープモード」付きのスーパークリーンルーム「フロアーコーチExp」「フロアーコーチEzp」が開発されました。

「フロアーコーチExp」(掲載画像1)
幅10m×長さ40m×高さ2.7m
フロアーコーチ3段×10列×1対(60台)
「フロアーコーチEzp」
幅7m×長さ20m×高さ2.7m
フロアーコーチ3段×7列(21台)

「スリープモード」の概要
「スリープモード」は次のように消費電力をカットしつつ、クリーン度を保ちます。
① クリーンルームでの作業休止時は、ガイドスクリーンのオープン部がスライドスクリーンによって閉ざされます。(天井部分も閉じる)
② スライドスクリーンの開閉スピードは、スーパークリーンの清浄度を維持するように制御され、通常の自動ドアよりゆっくり動きます。
③ スライドスクリーンが閉じるとルーム内は若干陽圧状態となります。ただしルーム内は完全な密閉状態ではなくフードやガイドスクリーンの接合部から常にクリーン空気が外に流れ出て、コンタミの侵入を防ぎます。
④ 総てのフードに備えられたセンサーが内圧を監視し、目標のクリーン度(内部が無発じん状態ならISOクラス1)を達成する最低風量まで送風量を減らし、フルシャット時には作業時(スライドスクリーンオープン時)の約70%の消費電力がカットされます。

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