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超高純度ガス精製器（アルゴン、窒素、ヘリウムなど）
不活性ガス(窒素・アルゴン・ヘリウム・ネオン・キセノン・クリプトン)中の各種不純物を1ppb以下へ純化します。
流量範囲は〜300NL/minです。
0.003µmパーティクルフィルタ標準装備。再生することにより繰り返し使用可能です。
連続してご使用可能な手動再生型もございます。（オーダーメイドのため、納期・価格はご相談ください）
【用途】半導体製造装置、分析機器キャリア・ゼロガス用、雰囲気調整用に使用します。
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企業情報
- 企業名
- 大阪ガスリキッド株式会社（事業所概要詳細）
- 所在地
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大阪府大阪市中央区