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ミニファインピュアラーMFP型
インライン式超高純度ガス精製器です。面間距離84mmと小型の精製器で、従来のパーテクルフィルタと簡単に交換可能です。不活性ガス用、水素ガス用があり、流量範囲は~5リットル/minです。精製能力はファインピュアラーと同等です。0.003umパーティクルフィルタ標準装備。半導体製造装置、分析機器キャリア・ゼロガス用、雰囲気調整用に使用します。
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企業情報
- 企業名
- 大阪ガスリキッド株式会社(事業所概要詳細)
- 所在地
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大阪府大阪市中央区