ファインピュアラーFPH型

インライン式超高純度ガス精製器です。水素ガス中の各種不純物を1ppb以下へ純化します。流量範囲は~200リットル/minです。0.003umパーティクルフィルタ標準装備。再生することにより繰り返し使用可能です。連続してご使用可能な手動再生型もございます。半導体製造装置、分析機器キャリア・ゼロガス用、雰囲気調整用に使用します。

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大阪ガスリキッド株式会社事業所概要詳細
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〒541-0041 大阪府大阪市中央区